微型無線溫度記錄器光刻系統(tǒng)是制造芯片的核心裝備，其中溫度的檢測尤為重要，溫度會影響光刻膠流動，從而影響光刻的成品率。微型無線溫度記錄器體積微小，重量輕，攜帶方便。適用于曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等的溫度檢測記錄。 產(chǎn)品特點 1. 體積微小、靈活通用； 2. 溫度準(zhǔn)確度小于10mK； 3. 采用無線通訊方式，響應(yīng)時間短，可連續(xù)工作時間超過10天。 產(chǎn)品尺寸 長20mm×寬
掩膜無線測溫系統(tǒng)光掩膜又稱光罩，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形，并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。在半導(dǎo)體芯片加工制造過程中,光掩膜版表面的溫度均勻性要求非常高，需要嚴(yán)格的溫度測量和控制。掩膜無線測溫系統(tǒng)用于準(zhǔn)確測量光掩膜版的溫度分布。
便攜式氮氣分析儀GPR-1200C適用于需要用先進高精度儀表在規(guī)定測量點控制微量氧氣或氣體純度的應(yīng)用。采用緊 湊而堅固的外殼、不銹鋼氣路材質(zhì)、一體式流量計和針閥，可對惰性氣體、二氧化碳和氧氣進行純度測量。 客戶可以利用四通閥將樣氣捕集到傳感器中，在移動中更快地測量氧氣含量。這樣還能有效保護微量氧傳感 器，防止由于暴露在環(huán)境氧水平中而過早損耗。具有更長的傳感器壽命， 因此能降低運行成本和擁有成本。
高精度鉑電阻溫度傳感器 產(chǎn)品概述 高精度鉑電阻溫度探頭采用行業(yè)的真空 PVD 沉積、 MEMS 精密加工等技術(shù)，已經(jīng)完成 -70℃ ～ 1000℃寬溫區(qū)傳感器芯片國產(chǎn)化。主要技術(shù)指標(biāo)達到進口產(chǎn)品水平，具備 MEMS 加工先進技術(shù)裝備和工藝， 可以為客戶提供 MEMS 工藝代加工和傳感器芯片開發(fā)合作業(yè)務(wù)?？捎糜诟黝悆x器儀表制造業(yè)和制造各種溫 度傳感器，更適合對溫度測量精度
堆棧式溫度測量儀是公司國產(chǎn)化儀表，國產(chǎn)化率 100%，對標(biāo) 1560。它由一個主控制器及附加測溫模塊組成，內(nèi)置 ITS90 溫標(biāo)，能直觀顯示溫度、電阻，具備圖形、統(tǒng)計、存儲功能?？蓪崟r顯示測量數(shù)據(jù)，如通道間差值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、均值、最大值、最小值等，并可圖形化監(jiān)視溫度變化。支持單個或多個測量模塊與主機組合測溫，帶內(nèi)部時鐘，可標(biāo)記測量結(jié)果的時間和日期。主要應(yīng)用于溫度分布測試、溫度檢驗、傳感器校準(zhǔn)等
RTD Wafer 晶圓有線測溫系統(tǒng) 儀表化晶圓（熱電偶或RTD）適用于半導(dǎo)體加工設(shè)備，在這些設(shè)備中，了解和控制晶圓表面的溫度至關(guān)重要。
漏液傳感器LUP系列 主體材質(zhì):PP(聚丙烯)電纜材質(zhì):PVC(聚氯乙烯)檢測液體:水，油，酒精，部分有機物液體等。
液壓流量壓力溫度轉(zhuǎn)速曲線液壓測試儀屏幕或通過PC聯(lián)機軟件可以顯示各類分析曲線，可以打印報表，是種完整的現(xiàn)場調(diào)試、采集設(shè)備。 適合工程師現(xiàn)場或出差調(diào)試，測試用； 適合中型試驗臺； 具備硬件濾波，適合噪聲環(huán)境用； 液壓測試儀可以壓力、流量、溫度、轉(zhuǎn)速數(shù)字顯示、時間曲線、XY曲線等實時或離線數(shù)據(jù)與曲線； 液壓測試儀是種多功能的測試和控制系統(tǒng)，是種穩(wěn)定、可靠的定型測控產(chǎn)品，適合工程機械現(xiàn)場在線調(diào)試，測試用
鈍化膜測試儀Oxilyser3新模式，從2009年8月無源測試，將會向市場推出。此為被動測試方法已成為在航運業(yè)方面的被動測試和表面狀態(tài)的不銹鋼罐的標(biāo)準(zhǔn)。此外酸洗和鈍化公司，以及不銹鋼加工商，經(jīng)常使用的Oxilyser。
高壓氣體粒子計數(shù)器 高技術(shù)生產(chǎn)工藝通常要求高純度氣體。HPGP-101-C高壓氣體探頭為在線壓力下的工藝氣體提供可靠的在線污染監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭和氧氣、氫氣以及大多數(shù)無害氣體相匹配，它可以應(yīng)用于多種活性氣體監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭會在影響產(chǎn)量之前，加快工藝氣體分配系統(tǒng)的資格確認，監(jiān)測氣體中的粒子。
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