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半導(dǎo)體行業(yè)氣體品質(zhì)檢測(cè)

更新時(shí)間:2021-07-14

簡(jiǎn)要描述:

半導(dǎo)體行業(yè)氣體品質(zhì)檢測(cè)五項(xiàng)測(cè)試檢測(cè)出報(bào)告測(cè)試項(xiàng)目包括微粒、氧氣含量、水份、氦氣測(cè)漏與壓力測(cè)試。注:1、管路微粒、水氧等測(cè)試前須先銜接廠務(wù)端接點(diǎn)后

型號(hào):RDRST點(diǎn)擊量:975

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五項(xiàng)測(cè)試檢測(cè)技術(shù)內(nèi)容

 

半導(dǎo)體行業(yè)氣體品質(zhì)檢測(cè)測(cè)試項(xiàng)目包括微粒、氧氣含量、水份、氦氣測(cè)漏與壓力測(cè)試。

注:1、管路微粒、水氧等測(cè)試前須先銜接廠務(wù)端接點(diǎn)后,以閥箱或氣柜內(nèi)之test port通入N2(c)進(jìn)行測(cè)試,如N2(C)純度不夠無法滿足要求,廠商需自配純化器。

    2、施工purge及保壓、微粒、水份測(cè)試等限定使用N2半導(dǎo)體行業(yè)氣體品質(zhì)檢測(cè)

 

半導(dǎo)體行業(yè)氣體品質(zhì)檢測(cè)五項(xiàng)測(cè)試檢測(cè)出報(bào)告一、管線測(cè)試規(guī)范如下:

1.管路持壓測(cè)試

Bulk-gas及Purified-gas持壓測(cè)試時(shí)間≧6小時(shí); Special-gas持壓測(cè)試時(shí)間≧24小時(shí) (須檢附保壓記錄器圓盤記錄紙);合格標(biāo)準(zhǔn):氣體保壓測(cè)試初始?jí)毫?.5~8.5 kg/cm2,持壓后△P≦1%初始?jí)毫?/span>

 

2.管路微粒測(cè)試

Purified-gas 及 Special-gas氣體管路須進(jìn)行微粒測(cè)試,并須檢附Particle Counter紀(jì)錄紙;合格標(biāo)準(zhǔn):每10分鐘測(cè)1點(diǎn),連續(xù)測(cè)3次,Purified-gas、Special gas粒徑≦0.1μm,顆粒數(shù)≦0 pcs/cf

 

3.管路水份/氧分析測(cè)試

Purified-gas 及 Special-gas(含H2、不含NG)氣體管路須進(jìn)行水份、氧分析測(cè)試,并須檢附水份、氧分析儀紀(jì)錄紙;合格標(biāo)準(zhǔn):測(cè)試時(shí)間30分鐘,D.P(含水量)≦10 ppb   D.P(含氧量)≦10 ppb。水份分析儀誤差range為±4ppb,允許實(shí)測(cè)讀值應(yīng)小于6ppb

 

4.管路氦測(cè)漏

Purified-gas 及Special-gas(含H2、不含NG)氣體管路須進(jìn)行氦測(cè)漏測(cè)試,并須檢附氦測(cè)漏機(jī)紀(jì)錄紙;合格標(biāo)準(zhǔn):測(cè)試時(shí)間30分鐘,漏率≦1*10-9 Atm cc/sec

 

.測(cè)試要求:

所有測(cè)試按接機(jī)點(diǎn)計(jì)算,必須保證所有管路均有測(cè)試,必須將所有管路末端單一逐一測(cè)試,或者末端串聯(lián)測(cè)試,保證管路都經(jīng)過儀器檢測(cè),測(cè)試高純氣體與特殊氣體分開測(cè)試。

 

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